質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。其采用主體不銹鋼(316L) 結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、.聚四氟乙烯等；適用于多種腐蝕性氣體；氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準；響應速度快、軟啟動、應用穩定；工作壓力范圍寬(可以在高壓或真空條件下工作)；操作使用方便，可任意位置安裝；便于與計算機連接實現自動控制。
質量流量控制器主要應用于半導體制造行業的氣體流量控制；分析儀器設備的氣體計量與控制；多種形式的真空鍍膜設備；環境檢測與分析設備；化工、石化、食品行業氣體流量監測和控制；特種材料表面處理裝置與燃燒控制；混氣配氣系統和泄漏探測系統等
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