質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種清潔干燥氣體

質(zhì)量流量控制器可應用于多種行業(yè)
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種清潔干燥氣體，包括腐蝕性氣體和特別氣體，但對于使用腐蝕性氣氣體和特別氣體，需要恰當選擇型號和密封材料，以免因為選型或選擇密封材料錯誤造成損失。通常質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的材質(zhì)為316L不銹鋼、密封材質(zhì)分為金屬焊接，聚四氟乙烯和普通氟橡膠。

    氣體質(zhì)量流量控制器和流量計主要應用于真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER 磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
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